Πώς να γυαλίσετε γκοφρέτες πυριτίου

Προετοιμασία Προστίλβωσης

Πριν ξεκινήσετε την πραγματική διαδικασία στίλβωσης, υπάρχουν πολλά σημαντικά προπαρασκευαστικά βήματα:

Καθάρισμα

Καθαρίστε σχολαστικά τις επιφάνειες της γκοφρέτας για να αφαιρέσετε τυχόν υπολείμματα σωματιδίων ή χημικών υπολειμμάτων από προηγούμενες διεργασίες όπως το τύλιγμα ή η χάραξη. Η μόλυνση μπορεί να οδηγήσει σε επιφανειακά ελαττώματα κατά τη στίλβωση. Συνιστούμε τον καθαρισμό μέσω:

SC-1 καθαρός- Ζεστό υδροξείδιο αμμωνίου, υπεροξείδιο του υδρογόνου και νερό σε αναλογία 1:1:5 στους 75 βαθμούς για 10 λεπτά

SC-2 καθαρός- Ζεστό υδροχλωρικό οξύ, υπεροξείδιο του υδρογόνου και νερό σε αναλογία 1:1:6 στους 75 βαθμούς για 10 λεπτά

Γρήγορη έκπλυση (QDR)- Πολλαπλά λουτρά υπερχειλισμένου νερού DI για 2-3 λεπτά το καθένα

Επιθεώρηση

Επιθεωρήστε προσεκτικά τις επιφάνειες της πλακέτας μετά τον καθαρισμό χρησιμοποιώντας τη λειτουργία φωτεινού πεδίου για να ελέγξετε για:

Υπολειμματικά σωματίδια ή λεκέδες

Λάκκους, γρατσουνιές ή υποεπιφανειακές ζημιές από προηγούμενες διεργασίες

Άλλα φυσικά ελαττώματα όπως τσιπς/ρωγμές άκρων

Αντιμετωπίστε τυχόν προβλήματα σε αυτό το στάδιο πριν το γυάλισμα για να αποφύγετε την επιδείνωση των ελαττωμάτων.

Εφαρμόστε το Backing Layer

Εφαρμόστε ένα αυτοκόλλητο στρώμα στήριξης στο πίσω μέρος της γκοφρέτας για να παρέχει ομοιόμορφη στήριξη κατά τη διάρκεια του γυαλίσματος και να αποτρέψει τη ζημιά στο πίσω μέρος:

Εφαρμόστε 1-2 στρώματα σκληρυνόμενης κόλλας με υπεριώδη ακτινοβολία

Βεβαιωθείτε ότι έχει ωριμάσει πλήρως πριν το γυάλισμα

Πίνακας 1. Συνιστώμενα στρώματα υποστήριξης

Εξοπλισμός στίλβωσης

Βασικές δυνατότητες:

Μεταβλητές ταχύτητες άξονα έως 120 rpm

Προγραμματιζόμενη καθοδική δύναμη/πίεση έως 8 psi

Παρακολούθηση ροπής σε πραγματικό χρόνο

Αυτοματοποιημένη διανομή/τροφοδοσία πολτού

Ενσωματωμένοι σταθμοί καθαρισμού μετά το γυάλισμα

Βήματα διαδικασίας στίλβωσης

Τα κύρια βήματα στίλβωσης περιγράφονται παρακάτω:

Προετοιμάστε/Φόρεμα στιλβωτικού μαξιλαριού

Επιλέξτε το κατάλληλο υλικό μαξιλαριών (δείτε συστάσεις αργότερα)

Προετοιμάστε νέα τακάκια με εμποτισμό με διαμάντια

Πριν από κάθε τρέξιμο, ντύστε μαξιλαράκι με διαμαντένιο δίσκο για να ανανεώσετε την επιφάνεια

Όρος Γκοφρέτα

Στερεώστε καλά τη γκοφρέτα στο τσοκ/φορέα γκοφρέτας

Κεντράρετε σωστά τη γκοφρέτα για να εξασφαλίσετε ομοιόμορφο γυάλισμα

Ορισμός παραμέτρων διαδικασίας

Ταχύτητα ατράκτου -30-60 σ.α.λτυπικός

Πίεση -%7β%7β0%7δ%7δ psiτυπικός

Ποσοστό τροφοδοσίας πολτού -100-250 ml/λεπτό

Διάρκεια διαδικασίας - Εξαρτάται από την απαιτούμενη αφαίρεση υλικού

Ξεκινήστε τον κύκλο στίλβωσης

Ξεκινήστε την περιστροφή της ατράκτου

Διανείμετε τον πολτό στο κέντρο του μαξιλαριού συνεχώς

Χαμηλώστε το τσοκ γκοφρέτας και το μαξιλαράκι εμπλοκής ανά καθορισμένη πίεση

Παρακολουθήστε τη ροπή σε όλη τη διαδικασία

Καθαρισμός μετά την Πολωνία

Ο σχολαστικός καθαρισμός μετά το γυάλισμα είναι κρίσιμος για την αφαίρεση υπολειμμάτων και την ελαχιστοποίηση των ελαττωμάτων:

Πρωτογενής καθαρισμός- Τρίψτε με πινέλο τις επιφάνειες της γκοφρέτας με διαλύματα υδροξειδίου του αμμωνίου ή οξικού άλατος

Δευτερεύουσα καθαριότητα- Σύντομη εμβάπτιση σε HF ή άλλα όξινα διαλύματα για την αφαίρεση χημικών υπολειμμάτων

QDR - Πολλαπλά λουτρά υπερχείλισης για 3-5 λεπτά το καθένα

Επιθεωρήστε ξανά τις έτοιμες γκοφρέτες μετά τον καθαρισμό. Επεξεργαστείτε/γυαλίστε ξανά τυχόν απαραίτητες περιοχές πριν προχωρήσετε στα επόμενα βήματα της διαδικασίας.

Βελτιστοποίηση διαδικασίας στίλβωσης γκοφρέτας πυριτίου

Υπάρχουν πολλές βασικές παράμετροι που μπορούν να ρυθμιστούν για τη βελτιστοποίηση της διαδικασίας στίλβωσης γκοφρέτας:

Εφαρμοσμένη κάτω δύναμη/πίεση

Η υψηλότερη πίεση αυξάνει τον ρυθμό στίλβωσης/αφαίρεσης υλικού

Η υπερβολική πίεση οδηγεί σε στρογγυλοποίηση άκρων, μικρορωγμές

3-5 psi βέλτιστη για τις περισσότερες εφαρμογές

Ταχύτητα περιστροφής

Αυξάνει τη θερμοκρασία στη διεπαφή pad-wafer

Οι υψηλότερες ταχύτητες αυξάνουν τον ρυθμό γυαλίσματος μέχρι ένα σημείο

30-60 σ.α.λκατάλληλο για τις περισσότερες διεργασίες παρτίδας

Υλικά μαξιλαριών

Η επιλογή υλικού μαξιλαριού επηρεάζει βασικούς παράγοντες όπως ο ρυθμός γυαλίσματος, το φινίρισμα της επιφάνειας και τα επίπεδα ελαττωμάτων:

Πίνακας 2. Συγκρίσεις υλικών μαξιλαριών

Τα μαλακότερα τακάκια κόβονται γρηγορότερα, αλλά δεν τελειώνουν τόσο ομαλά

Τα σκληρά τακάκια πιο αργό γυάλισμα και υψηλότερο γυάλισμα

Διαδικασίες πολλαπλών βημάτων ιδανικές με χρήση σκληρότερου τελικού μαξιλαριού

Βελτιστοποίηση πολτού

Η εξισορρόπηση του λειαντικού περιεχομένου/χημείας/pH/ρυθμού ροής είναι κρίσιμη

Προσαρμόστε τα σκευάσματα πολτού στην εφαρμογή και στο υλικό των επιθέματος

Συνεχώς δοκιμάζετε και βελτιώνετε τους πολτούς μας για βέλτιστα αποτελέσματα

Ανάλυση μετά τη στίλβωση

Η αξιολόγηση και η ανάλυση της ποιότητας γκοφρέτας μετά το γυάλισμα είναι επιτακτική ανάγκη για να διασφαλιστεί ότι πληρούνται οι προδιαγραφές και να εντοπιστούν βελτιώσεις στη διαδικασία. Οι βασικές αναλύσεις περιλαμβάνουν:

Σκληρότητα επιφάνειας

Μετρήστε δεδομένα Ra, RMS, PSD και HF

Παρακολούθηση σχήματος/επιπεδότητας μεγάλου μήκους κύματος

Προσδιορίστε γρατσουνιές, κοιλώματα, σωματίδια, πρόσθετο γυάλισμα που απαιτείται

Πάχος φιλμ

Επιβεβαιώστε την αφαίρεση των απαιτούμενων στρωμάτων πάχους

Ελέγξτε την ομοιομορφία του πάχους σε όλη την επιφάνεια της γκοφρέτας

Επίπεδα θολότητας

Μετρήστε το % θολότητας και την κατανομή

Εξασφαλίστε ελάχιστη υπολειπόμενη επιφανειακή ζημιά ανά προδιαγραφές εφαρμογής

Επιθεώρηση ελαττωμάτων

Χρησιμοποιήστε φωτεινό πεδίο, σκοτεινό πεδίο κ.λπ. για να αποκαλύψετε τα εναπομείναντα ελαττώματα

Συγκρίνετε τα επίπεδα/τύπους ελαττωμάτων πριν και μετά το γυάλισμα

Δεδομένα ανάδρασης για προσαρμογή του μαξιλαριού, του πολτού, των παραμέτρων

Τα ενσωματωμένα εργαλεία μετρολογίας μας παρέχουν ολοκληρωμένες αναλυτικές δυνατότητες για βέλτιστο έλεγχο της διαδικασίας.

Φινίρισμα επιφάνειας

Ρα< 1 angstrom πιθανό

ΚΜΕ< 2 angstroms τυπική προδιαγραφή

Ελαχιστοποιήστε τη μικροτραχύτητα μέσω της βελτιστοποίησης της διαδικασίας

Συνολική διακύμανση πάχους (TTV)

TTV < 1 um σε διάμετρο γκοφρέτας εύκολα προσβάσιμο

TIR < 3 τόξο-δευτερόλεπτα σε μεγάλα οπτικά εφικτό

Αποδεικνύεται ομοιομορφία πάχους υπο-νανομέτρων

Πυκνότητες ελαττωμάτων

Μηδενικές νανο-γρατσουνιές μέσω της προετοιμασίας των μαξιλαριών, βελτιστοποίηση τροφοδοσίας

< 5 defects/cm^2 over large areas

Ανίχνευση σωματιδίων και ελαχιστοποίηση μέχρι<0.1 um

Επικοινωνήστε με την ομάδα μηχανικών μας για να εξετάσουμε τις τεχνικές απαιτήσεις σας και θα προσαρμόσουμε μια ολοκληρωμένη διαδικασία στίλβωσης ώστε να ικανοποιεί ακόμη και τις πιο αυστηρές προδιαγραφές.